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成像分辨率小于1微米 “超級針”X射線成像系統(tǒng)問世

時間:2018-11-02 14:12:06    來源:人民日報    

近日,中國電科38所發(fā)布自主研制的新一代無損檢測設(shè)備——“超級針”X射線成像系統(tǒng),這是全國首臺“超級針”X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力,成像分辨率小于1微米,相當(dāng)于發(fā)絲的1%,可應(yīng)用于集成電路、軍工航天、汽車電子、醫(yī)療診斷、文物保護(hù)等多個領(lǐng)域。

微焦點X射線成像系統(tǒng)是工業(yè)無損檢測的常規(guī)必備設(shè)備,廣泛應(yīng)用于集成電路、電子器件等各種器材的無損檢測。中國電科38所“超級針”X射線成像系統(tǒng)采用獨特的“超級針”X射線源專利技術(shù),可在圖像增強(qiáng)器上形成被掃描物體的透視圖像。該設(shè)備采用全國首創(chuàng)的“超級針”X射線源,因而以“超級針”冠名,具有成像清晰、性能穩(wěn)定、潔凈度高、超低輻射、低能成像等優(yōu)點,在硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料的精密檢測方面優(yōu)勢明顯,已申請國內(nèi)外發(fā)明專利30余項。(記者孫振)

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