成像分辨率小于1微米 “超級(jí)針”X射線(xiàn)成像系統(tǒng)問(wèn)世

近日，中國(guó)電科38所發(fā)布自主研制的新一代無(wú)損檢測(cè)設(shè)備——“超級(jí)針”X射線(xiàn)成像系統(tǒng)，這是全國(guó)首臺(tái)“超級(jí)針”X射線(xiàn)成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測(cè)能力，成像分辨率小于1微米，相當(dāng)于發(fā)絲的1%，可應(yīng)用于集成電路、軍工航天、汽車(chē)電子、醫(yī)療診斷、文物保護(hù)等多個(gè)領(lǐng)域。

微焦點(diǎn)X射線(xiàn)成像系統(tǒng)是工業(yè)無(wú)損檢測(cè)的常規(guī)必備設(shè)備，廣泛應(yīng)用于集成電路、電子器件等各種器材的無(wú)損檢測(cè)。中國(guó)電科38所“超級(jí)針”X射線(xiàn)成像系統(tǒng)采用獨(dú)特的“超級(jí)針”X射線(xiàn)源專(zhuān)利技術(shù)，可在圖像增強(qiáng)器上形成被掃描物體的透視圖像。該設(shè)備采用全國(guó)首創(chuàng)的“超級(jí)針”X射線(xiàn)源，因而以“超級(jí)針”冠名，具有成像清晰、性能穩(wěn)定、潔凈度高、超低輻射、低能成像等優(yōu)點(diǎn)，在硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料的精密檢測(cè)方面優(yōu)勢(shì)明顯，已申請(qǐng)國(guó)內(nèi)外發(fā)明專(zhuān)利30余項(xiàng)。(記者孫振)

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